哈工大1克拉“真心”钻石刷屏背后——CVD金刚石单晶生长的材料方案
2026-07-09 · 应用介绍 · 百灵威授权转载
哈尔滨工业大学第十一届博士生集体婚礼上,187对新人收到了一份特殊的礼物——一枚镶嵌着1克拉钻石的婚戒。这颗钻石并非来自地下矿藏,而是由哈工大红外薄膜与晶体团队在实验室里“种”出来的。团队负责人朱嘉琦教授介绍,科研人员将甲烷与氢气混合后通入反应腔,在微波等离子体的激发下,碳原子在“种晶”表面一层一层有序排列,几天时间便能长成一顆纯净的金刚石单晶。这项技术不仅斩获了国家技术发明二等奖,其背后的大功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装备与高品质金刚石单晶生长技术,更在金刚石电池、量子传感、高功率芯片散热等前沿领域展现出广阔的应用前景。受此启发,本期我们将聚焦MPCVD金刚石单晶生长中关键材料与配套耗材的系统解决方案。
产品特点与优势:
衬底与外延基板:提供碳化硅(SiC) 、蓝宝石(Al₂O₃) 及硅片等多种高质量衬底材料,适配金刚石CVD异质外延生长需求;同时提供钼(Mo) 、钨(W) 等金属基板,适用于不同衬底温度下的金刚石沉积工艺高纯金属靶材与蒸发材料:提供铱(Ir) 靶材,用于籽晶拼接衬底表面的磁控溅射镀膜,是实现大尺寸单晶金刚石拼接生长的关键材料;同时提供钼(Mo) 、钛(Ti) 等高纯金属颗粒与靶材,适配电子束蒸发与磁控溅射工艺
高纯金属与合金材料:供应铟(In) 、锡(Sn) 、镍(Ni) 、铜(Cu) 、银(Ag) 、铅(Pb) 、铋(Bi) 、碲(Te) 等多种高纯金属单质及合金材料,可用于籽晶衬底的真空钎焊、电极制备及腔体组件
工艺配套耗材:提供中性pH清洗液、PTFE清洗架、掩膜板等工艺耗材,保障衬底清洗与图案化制备的洁净度与精度
应用场景:
MPCVD金刚石单晶同质外延生长:以金刚石籽晶为基底,甲烷/氢气为前驱体,在微波等离子体激发下生长高品质单晶金刚石大尺寸单晶金刚石拼接生长:通过磁控溅射在拼接籽晶衬底表面沉积铱膜,实现大面积单晶金刚石的外延生长
金刚石晶圆与高导热复合材料制备:面向高功率芯片散热、氮化镓-金刚石复合晶圆等应用场景
金刚石基光电器件与量子传感:面向日盲紫外探测器、量子传感等前沿应用
百灵威供应从衬底基板到高纯靶材、从籽晶相关金属到工艺耗材的CVD金刚石生长全链条材料方案,助力您培育属于自己的“硬核浪漫”、加速金刚石功能材料研发与产业化进程。
推荐产品
衬底与外延基板
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Silicon carbide, 99.9%, Particle size: 1-2um 碳化硅 | 409-21-2 | 942176新 |
| Silicon carbide, 99.9%, metals basis,30-40nm, β-相 碳化硅 | 409-21-2 | 994327 |
| Aluminum oxide, AR 氧化铝 | 1344-28-1 | 900309新 |
| Aluminum oxide, 99.99%, metals basis, 5 - 6 μm 氧化铝 | 1344-28-1 | 979024新 |
| Titanium, 99.7%, Particle size:-325 mesh 钛 | 7440-32-6 | 527130 危化品 |
| Titanium boride, 99.9%, metals basis, 3-5μm 二硼化钛 | 12045-63-5 | 927120 |
高纯金属靶材与蒸发材料
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Silver shot (99.99%) 银 | 7440-22-4 | 47-0085 |
| Copper shot (99.9999%) 铜粒 | 7440-50-8 | 29-0085 |
| Molybdenum rod (99.95%) 钼棒(99.95%) | 7439-98-7 | 93-4255 |
| Indium tin oxide, 99.99%, metal basis, 300 mesh, In2O3, 90 wt%; SnO2, 10 wt% 氧化铟锡 | 50926-11-9 | 227355 |
高纯金属与合金材料
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Indium particles, 99.999% 铟粒 | 7440-74-6 | 921245 |
| Tin particles, 99.9999% 锡粒 | 7440-31-5 | 926174 |
| Nickel particles, 99.99% 镍粒 | 7440-02-0 | 988048 |
| Lead, 99.999%, particle 高纯铅 | 7439-92-1 | 990946 |
| Bismuth, 99.999%, powder 铋粉 | 7440-69-9 | 900959 |
| Tellurium, 99.9999%, powder 碲粉 | 13494-80-9 | 907542 |
| Silver nanowires, 97%, 5 mg/mL dispersion in isopropanol, diam.: 27 - 33 nm, length: 20 - 30 μm 银纳米线 | 7440-22-4 | 990210 |
| Silver nanowires, 97%, 10 mg/mL dispersion in ethanol, diam.: 27 - 33 nm, length: 20 - 30 μm 银纳米线 | 7440-22-4 | 900441 |
| Tin-Bismuth Alloy, 99.99%, particle 锡铋合金粒 | / | 9423212 |
| Gallium-indium alloy, 99.99%, particle 镓铟合金粒 | / | 9423217 |
| Indium-tin alloy, 99.99%, particle 铟锡合金粒 | / | 9423214 |
工艺配套耗材
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Cleaning liquid, The pH value is neutral and does not damage the conductive film 清洗液 | / | 9413506 |
| Conductive glass cleaning rack, 15mm*15mm, new material of polytetrafluoroethylene 导电玻璃清洗架 | / | 9435351 |
| MASK, 130*130mm, Made of 304 stainless steel plate 掩膜板 | / | 9435352 |
推荐阅读
CVD/ALD前驱体源关键选择--高质量解决方案优质 CVD/ALD 前驱体源,助力高科技产业工艺升级