低介电常数（low-k）与硅基介质薄膜前驱体
2026-06-10 · 系列介绍 · 百灵威授权转载
在后端互连工艺中，低介电常数（low-k）介质材料可有效降低RC延迟。含硅前驱体（如硅烷、硅氧烷、硅氮烷）通过CVD/ALD沉积SiOCH、SiOC等薄膜，是实现low-k的关键。我司提供多种高纯含硅前驱体，包括二(二乙氨基)硅烷、三(二甲胺基)硅烷、二(叔丁基氨基)硅烷等，适用于SiN、SiO₂、SiCN及多孔low-k薄膜的低温沉积。
产品优势及特点：
- - 高纯硅源：纯度≥99.99% metal basis，金属杂质<0.1 ppm。- - 调控碳含量：通过前驱体分子设计，精确控制薄膜中C、H、N比例，优化介电常数与机械强度。
- - 工艺兼容：液态前驱体，配合鼓泡器或直接液体注入系统，适配主流CVD/ALD设备。
- - 钢瓶配套：提供50mL/60mL不锈钢钢瓶，可根据设备接口定制。
应用场景：
- - 先进节点（≤14nm）后道互连low-k介质（SiCOH、SiOC）- - 氮化硅、碳氮化硅刻蚀停止层、钝化层
- - 氧化硅隔离层、覆盖层
核心推荐产品清单
氨基/烷氨基硅烷
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Bis(diethylamino)silane, 99.9999% 双(二乙氨基)硅烷 | 27804-64-4 | 957403 |
| Tris(dimethylamino)silane, 99%, 99.999% Si 三(二甲胺基)硅烷 | 15112-89-7 | 282401 |
| Bis(t-butylamino)silane, 98%, ≥99.99% metal basis, for CVD/ALD, please refer to the details page for ordering and cleaning cylinder 二(叔丁基氨基)硅烷 | 186598-40-3 | 474608 |
| Hexamethyldisilane, 98% 六甲基二硅烷 | 1450-14-2 | 590635 危化品 |
氯硅烷/烷基硅烷
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Trichlorosilane, 99.7% 三氯硅烷 | 10025-78-2 | 135959 危化品 |
| Silicon(IV) chloride, fiber optic grade (99.9999%-Si, 50ppm-Fe) PURATREM 四氯化硅/四氯硅烷 | 10026-04-7 | 98-0147 危化品 |
| Chlorotrimethylsilane, 97.5%, for synthesis 三甲基氯硅烷 | 75-77-4 | 963502 危化品 |
| Dichlorodimethylsilane, 99.3% 二甲基二氯硅烷 | 75-78-5 | 191866 危化品 |
| Phenyltrichlorosilane, 98% 苯基三氯硅烷 | 98-13-5 | 580706 危化品 |
硅氧烷/硅氮烷
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tetraethyl orthosilicate, 99% 原硅酸四乙基酯 | 78-10-4 | 918023 危化品 |
| 1,3,5,7-Tetramethylcyclotetrasiloxane, 99% 1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷 | 2370-88-9 | 984609 |
| n-Octyltriethoxysilane, 97% 正辛基三乙氧基硅烷 | 2943-75-1 | 339028 |
其他含硅单体
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| 3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate, 98% 3-(三甲氧基甲硅基)甲基丙烯酸丙酯 | 2530-85-0 | 175528 |
| 3-Mercaptopropyltrimethoxysilane, 97% 3-巯基丙基三甲氧基硅烷 | 4420-74-0 | 180573 |
| Trichloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl)silane, 97% 三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷 | 78560-45-9 | 549606 |
| Tetrahydrofurfuryl acrylate, 98%, stabilized with MEHQ 四氢糠基丙烯酸酯 | 2399-48-6 | 999070 |
钢瓶配件
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Allyl chloride, 98%, stabilized 烯丙基氯 | 107-05-1 | 488389 危化品 |
| Alane-N,N-dimethylethylamine complex, 99%, metal basis, for CVD/ALD, please refer to the details page for ordering and cleaning cylinder N,N-二甲基乙胺醛烷络合物 | 124330-23-0 | 535459 |
| 50ml Standard cylinder, Suitable for the vast majority of domestic equipments 50mL标准钢瓶 | / | 9395115 |
| 60ml Standard cylinder, Suitable for the equipment of Picosun 60mL标准钢瓶 | / | 9395123 |
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