聚焦电子化学品关键材料——从光刻胶到高纯试剂，助力产业链自主可控
2026-06-10 · 系列介绍 · 百灵威授权转载
7月24日，第二十七届中国科协年会“电子化学品关键材料设计与制备”专题论坛在京召开。张锁江院士指出，电子化学品是半导体制造、新能源、5G等战略性新兴产业的基石，亟需突破多尺度精准调控、批量一致性及超高纯分离等关键技术瓶颈。我司长期深耕电子信息化学品领域，提供光刻胶用单体与光引发剂、湿法蚀刻液、高纯清洗溶剂及薄膜沉积前驱体等系列产品，助力我国电子化学品产业链从“跟跑”向“并跑”跨越。
产品优势及特点：
- - 光刻胶关键单体齐全：提供含氟丙烯酸酯、金刚烷衍生物、环状单体等数十种光刻胶用单体，适用于ArF、KrF及EUV光刻胶体系，金属离子含量可控制在≤50ppb。- - 高纯湿法电子化学品：氢氟酸、四甲基氢氧化铵（TMAH）、丙二醇单甲醚乙酸酯（PGMEA）等达到EL/ELH级，金属杂质＜0.1ppb，满足晶圆清洗、蚀刻、显影等工艺要求。
- - 薄膜沉积前驱体：提供四(二甲氨基)钛、二(二乙氨基)硅烷、三(二甲胺基)硅烷等CVD/ALD前驱体，纯度≥99.99% metal basis，支持钢瓶定制。
- - 光致产酸剂与光引发剂：三苯基硫三氟甲烷磺酸盐、二苯基碘鎓盐系列产品，纯度≥98%，适用于化学放大光刻胶体系。
应用场景：
- - 半导体光刻胶（ArF、KrF、EUV、i-line）单体及添加剂研发与生产- - 晶圆制造中湿法蚀刻、清洗、显影工艺
- - 薄膜沉积（CVD/ALD）前驱体材料开发
- - 电子化学品超高纯分离、纯化及痕量杂质控制项目
相关产品
光刻胶用含氟单体
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| 2,2,2-Trifluoroethyl acrylate, 98%, stabilized with 200 ppm MEHQ 2,2,2-三氟乙基丙烯酸酯 | 407-47-6 | 364648 |
| 2,2,3,3,3-Pentafluoropropyl acrylate, 97% 2,2,3,3,3-五氟丙基 丙烯酸酯 | 356-86-5 | 136430 |
| 1H,1H,2H,2H-Perfluorooctyl acrylate, 95% 1H,1H,2H,2H-全氟辛基 丙烯酸酯 | 17527-29-6 | 130690 |
| 1H,1H,5H-Octafluoropentyl methacrylate, 98% 1H,1H,5H-八氟戊基异丁烯酸酯 | 355-93-1 | 187072 |
光刻胶用金刚烷/环状单体
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| 1,3-Adamantanediol, 98%, water ≤0.10% 1,3-金刚烷二甲醇 | 5001-18-3 | 977917 |
| 1-Methacryloyloxy-3-adamantanol, 99.5%, water ≤500 ppm 3-羟基-1-金刚烷醇甲基丙烯酸酯 | 115372-36-6 | 1279018 |
| 1-Ethyl-cyclopentanol methacrylate, ≥99%, water ≤200 ppm 1-乙基-环戊醇甲基丙烯酸酯 | 266308-58-1 | 2133896 |
| Dicyclopentanyl methacrylate, 99%, Containing stabilizer: MEHQ 甲基丙烯酸二环戊基酯 | 34759-34-7 | 508830 |
光刻胶添加剂与光引发剂
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| 1-Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 99% 1-羟基环己基苯基甲酮 | 947-19-3 | 330139 |
| Diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99% (2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦 | 75980-60-8 | 567999 |
| Triphenylsulfonium triflate, 99% 三苯基硫三氟甲烷磺酸盐 | 66003-78-9 | 591988 |
| Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium triflate, 98% 双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐 | 84563-54-2 | 512472 |
湿法电子化学品
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Hydrofluoric acid, HF:48.8-49.2 %, ELH-I 氢氟酸 | 7664-39-3 | 990529 危化品 |
| Tetramethylammonium hydroxide, 25% solution in H2O 四甲基氢氧化铵 | 75-59-2 | 457936 危化品 |
| Propylene glycol methyl ether acetate, 99.9%, ELH-Ⅲ 丙二醇单甲醚乙酸酯 | 108-65-6 | 976499 |
| 1-Methoxy-2-propanol, 99.5%, EL-Ⅲ 丙二醇甲醚 | 107-98-2 | 961459 |
| Isopropanol, 99.9%, ELH-Ⅲ 异丙醇 | 67-63-0 | 984033 危化品 |
| Butyl acetate, 99.5%, EL-Ⅲ 乙酸丁酯 | 123-86-4 | 977722 危化品 |
薄膜沉积前驱体
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tris(dimethylamino)silane, 99%, 99.999% Si 三(二甲胺基)硅烷 | 15112-89-7 | 282401 |
| Bis(diethylamino)silane, 99.9999% 双(二乙氨基)硅烷 | 27804-64-4 | 957403 |
| Tetrakis(dimethylamino)titanium, ICPMS-99.9999% 四(二甲氨基)钛 | 3275-24-9 | 952803新 |
| Tantalum(V) fluoride, 99.5% 五氟化钽 | 7783-71-3 | 93-7325 |
其他关键材料
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| 4,4'-(Hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride, 99.5% 4,4′-(六氟异丙烯)二酞酸酐 | 1107-00-2 | 962735 |
| Bis(4-(tert-butyl)phenyl)Iodonium chloride, 99% 二(4-叔丁基苯基)氯化碘 | 5421-53-4 | 1744185 |
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