ALD/CVD沉积材料，一站式高纯前驱体解决方案
2025-09-10 · 产品方案 · 百灵威授权转载
在半导体、显示、光电以及先进封装等高科技制造领域，沉积工艺正日益成为制程性能提升与产品良率保障的关键一环。尤其是在原子层沉积（ALD）与化学气相沉积（CVD）领域。
百灵威专注于为高校、科研院所提供优质ALD/CVD前驱体及相关化学品，并拥有Strem Chemicals官方渠道支持。依托我们对产品质量和服务细节的严苛把控，我们提供高达99.99%纯度的前驱体材料、极具竞争力的定价策略，以及符合国际标准的钢瓶清洗服务，全面保障高校与研究所的实验安全、成本控制和工艺可重复性。
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精密薄膜沉积用前体材料（CVD/ALD）
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金属前驱体
- 钨 (W)
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tungsten hexacarbonyl, 99.99%, Used for CVD 六羰基钨 | 14040-11-0 | 184972 |
| Tungsten(VI) chloride (99.9%-W) 六氯化钨 | 13283-01-7 | 74-2350 |
| Tungsten carbonyl, 99% (<0.3%-Mo) Tungsten carbonyl, 99% (<0.3%-Mo) | 14040-11-0 | 74-2200 |
- 铜 (Cu)
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Copper(II) hexafluoroacetylacetonate, anhydrous, elec. gr. (99.99+%-Cu) PURATREM 双(六氟乙酰丙酮)合铜(II) | 14781-45-4 | 29-2928 |
| Copper(II) acetylacetonate, 99% 乙酰丙酮铜(II) | 13395-16-9 | 537056 |
- 铂 (Pt)
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| (Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV), 99% (三甲基)甲基环戊二烯合铂(IV) | 94442-22-5 | 78-1350 |
| (Trimethyl)cyclopentadienylplatinum(IV), 99% π-环戊二烯（三甲基）铂 | 1271-07-4 | 78-1300 |
| (Trimethyl)pentamethylcyclopentadienylplatinum(IV), 99% （三甲基）五甲基环戊二烯基铂 | 97262-98-1 | 78-1358 |
| Platinum(II) hexafluoroacetylacetonate, 98% (99.9%-Pt) 1,1,1,5,5,5-六氟乙酰丙酮铂(II) | 65353-51-7 | 78-1550 |
| (Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV), 99% (99.999%-Pt) PURATREM （三甲基）甲基环戊二烯基铂（IV），99％（99.999％-Pt） | 94442-22-5 | 98-1350 |
- 钼 (Mo)
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Copper(II) hexafluoroacetylacetonate, anhydrous, elec. gr. (99.99+%-Cu) PURATREM 双(六氟乙酰丙酮)合铜(II) | 14781-45-4 | 29-2928 |
| Molybdenum(VI) dioxide bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionate), min. 98% [O₂Mo(TMHD)₂] 双（2,2,6,6 - 四甲基-3,5 - 庚二酮）二氧化钼（VI） | 34872-98-5 | 42-1357 |
- 钌 (Ru)
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Bis(cyclopentadienyl)ruthenium, 99% (99.9%-Ru) (Ruthenocene) 二茂钌 | 1287-13-4 | 44-6200 |
| Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II), 99.99%, trace metals basis 双(乙基环戊二烯基)钌(II) | 32992-96-4 | 588417 |
| Bis(N,N’-di-t-butylacetamidinato)ruthenium(II) dicarbonyl, 98% (99.99%-Ru) PURATREM 双(N,N'-二叔丁基乙二胺四乙酸)钌(II)二羰基 | 949113-49-9 | 44-0056 |
- 铝 (Al):
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)aluminum, 99% (99.9%-Al) [Al(TMHD)₃] 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铝(III), 99% | 14319-08-5 | 13-5000 |
- 镧 (La):
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tris(N,N'-di-i-propylformamidinato)lanthanum(III), (99.999+%-La) PURATREM La-FMD 三(N,N'-二-异丙基甲脒)镧(III) | 1034537-36-4 | 57-1200 |
- 锑 (Sb):
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Antimony(III) chloride, 99% 氯化锑(III) | 10025-91-9 | 496657 危化品 |
- 锆 (Zr):
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tetrakis(dimethylamino)zirconium(IV), 98% (99.99%-Zr) PURATREM TDMAZ 四(二甲基胺基)锆(IV) | 19756-04-8 | 40-4115 |
半导体元素前驱体
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Silicon(IV) chloride, fiber optic grade (99.9999%-Si, 50ppm-Fe) PURATREM, 98-0147, contained in a 50 ml electropolished Swagelok® cylinder (96-1077) for CVD/ALD 四氯化硅 | 10026-04-7 | 98-4027 危化品 |
| Tetraethoxysilane, TEOS (99.999%-Si) PURATREM 正硅酸四乙酯 | 78-10-4 | 14-1454 危化品 |
| Bis(diethylamino)silane, 99.9999% 双(二乙氨基)硅烷 | 27804-64-4 | 957403 |
| Bis(t-butylamino)silane, 98%, ≥99.99% metal basis, for CVD/ALD, please refer to the details page for ordering and cleaning cylinder 二(叔丁基氨基)硅烷 | 186598-40-3 | 474608 |
介电材料前驱体
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tetrakis(dimethylamino)zirconium(IV), 98% (99.99%-Zr) PURATREM TDMAZ 四(二甲基胺基)锆(IV) | 19756-04-8 | 40-4115 |
| Tetrakis(dimethylamino)hafnium, 98+% (99.99+%-Hf, <0.2% Zr) TDMAH, PURATREM Tetrakis（二甲基氨基）鉿 | 19782-68-4 | 72-8000促 |
| Titanium(IV) isopropoxide, 98% 钛酸四异丙酯(IV) | 546-68-9 | 162947 危化品 |
| Tantalum(V) ethoxide, 99.99% 乙醇钽(V) | 6074-84-6 | 142830 |
| Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV), 99% 四(二甲胺基)铪 | 19782-68-4 | 622857新 |
| Tetrakis(dimethylamino)zirconium, 99% 四(二甲氨基)锆 | 19756-04-8 | 337870 |
| Tris(3-hydroxypropyl)phosphine, min. 84% 三(3-羟基丙基)膦 | 4706-17-6 | 15-6375促 |
| Xenon(II) fluoride, 99.5% 二氟化氙 | 13709-36-9 | 54-1500 |
设备关键部件
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Swagelok® Cylinder Assembly, 50ml with 1/4 VCR Male Bellows-Sealed Valve (High Temp) and Female Nut for CVD/ALD Swagelok® 气缸, 50ml, 带1/4“VCR外波纹管密封阀(高温)和母螺母,用于CVD / ALD | / | 96-1071 |
钢瓶及清洗服务
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Cylinder cleaning cost, The cylinder has not stored product or the previously stored product is consistent with the purchased product. 钢瓶清洗费用 | / | 9394472 |
| Cylinder cleaning cost, The previously stored product is inconsistent with the purchased product. 钢瓶清洗费用 | / | 9394473 |
| 50ml Standard cylinder, Suitable for the vast majority of domestic equipments 50mL标准钢瓶 | / | 9395115 |
| 60ml Standard cylinder, Suitable for the equipment of Picosun 60mL标准钢瓶 | / | 9395123 |
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