氢溴酸：半导体先进制程的精密蚀刻专家
2025-07-03 · 推荐产品 · 百灵威授权转载
在半导体制造工艺持续向3nm、2nm节点推进的今天，氢溴酸(HBr)凭借其卓越的蚀刻精度和工艺可控性，已成为先进芯片制造不可或缺的核心材料。作为全球领先的电子级化学品供应商，我们致力于为半导体行业提供超高纯度氢溴酸解决方案，助力客户突破制程极限。
氢溴酸在半导体制造的核心优势
纳米级蚀刻精度：可实现<5nm的蚀刻线宽控制
优异的选择比：SiO₂/Si选择比高达100:1以上
工艺稳定性：批次间蚀刻速率差异<2%
氢溴酸在关键制程中的应用突破
1. FinFET和GAA晶体管制造
在3D晶体管结构中，氢溴酸等离子体蚀刻技术展现出无可比拟的优势：
栅极侧壁精确成形：各向异性蚀刻实现75°-85°的理想侧壁角度
鳍片轮廓控制：表面粗糙度<1nm RMS
低损伤工艺：衬底损伤层厚度<2nm
2. 存储器件制造
技术指标对比：
| 参数 | 传统工艺 | 氢溴酸工艺 | 提升幅度 |
|---|---|---|---|
| 蚀刻均匀性 | ±8% | ±3% | 62.5% |
| 关键尺寸控制 | ±4nm | ±1.5nm | 62.5% |
| 缺陷密度 | 0.15/cm² | 0.05/cm² | 66.7% |
3. 先进封装应用
我们的氢溴酸解决方案在以下封装工艺中表现卓越：
铜柱凸块清洗：去除率>99.9%，基底零损伤
硅通孔(TSV)处理：深宽比可达20:1
晶圆级封装：提高15%的界面结合强度
质量保证体系
我们建立了行业领先的氢溴酸质量控制体系：
原材料筛选：采用光伏级多晶硅副产氢溴酸为原料
纯化工艺：四级精馏+0.05μm超滤
产品列表
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Hydrobromic acid, 48 wt.% solution in H2O 氢溴酸 | 10035-10-6 | 957452 危化品 |
| Hydrobromic acid, for synthesis, 48 wt.% solution in H2O 氢溴酸 | 10035-10-6 | 987251 危化品 |
| Hydrobromic acid, 40%, for analysis 氢溴酸 | 10035-10-6 | 972822 危化品 |
其他相关产品 品名 CAS 货号 Trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV), 99%
三甲基(甲基环戊二烯基)合铂(IV) 94442-22-5 218004
Tungsten hexacarbonyl, 99%
六羰基钨 14040-11-0 194282
Tris(3-hydroxypropyl)phosphine, min. 84%
三(3-羟基丙基)膦 4706-17-6 15-6375促
Negative adhesive rinsing solution FP-A, 99.8%, High purity
负胶漂洗液FP-A / 9393344
Negative gel developer FX-A, 95%, High purity
负胶显影液FX-A / 9393343
3038 Photoresist developer, 2.380 ± 0.01wt%, high-purity, main component TMAH
3038正胶显影液 / 9393345新
Nickel plating solution, electroless
镍电镀液, 无电镀 / 044069
(2-Methyl-3-phenyltetrahydro-5-isoxazolyl)methanol
19345-02-9 044070
Benzoin methyl ether, 98%
安息香甲基醚 3524-62-7 528064
Diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99%
(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦 75980-60-8 567999
Hydrofluoric acid, HF:48.8-49.2 %, ELH-I
氢氟酸 7664-39-3 990529
危化品 Ethanol, 99.9%, EHL-II
乙醇 64-17-5 981866
危化品 Methanol, 99.9%, ELH-II
甲醇 67-56-1 934255
危化品 Aluminum oxide, polishing compound
氧化铝, 抛光 1344-28-1 039807
耗材
品名 CAS 货号 Special HPLC column for betel nut, 250×4.6 mm, 5 μm, 120 Å, pH 2-7.5
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Special HPLC column for lactose, 300×4.6 mm, 5 μm, 120 Å, pH 2-7.5
乳糖专用液相色谱柱 / 2467383
C18-Pro HPLC column, 250×4.6 mm, 5 μm, 200 Å, pH 3-7.5
C18-Pro 液相色谱柱 / 2467391
智慧实验室
品名 CAS 货号 RFID Self-Purifying Acid & Alkali Cabinet HCAF-400, Container size: 900*500*1980 mm, internal size: 650*420*1550 mm, volume 423 L
RFID 自净化酸碱柜 HCAF-400 / 9410145
RFID Self-purifying Fireproof Cabinet HCEF-400, Container size: 900*500*1980 mm, internal size: 650*420*1550 mm, volume 423 L
RFID 自净化防火柜 HCEF-400 / 9410143
FindMolecule IMS, Academic Pro.
实验室库存管理系统服务 / 9269005
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