高纯电子薄膜沉积前体材料组合
2025-06-16 · 推荐产品 · 百灵威授权转载
精选CVD/ALD专用前体材料，涵盖金属有机与无机化合物，满足精密薄膜沉积需求。
本产品组合提供半导体和电子器件制造所需的高纯度CVD/ALD前体材料，涵盖金属有机化合物和无机金属盐，满足先进薄膜沉积工艺需求。
化学气相沉积与原子层沉积前体
氯化锑(III)和氯化铋(III)提供III族金属源，叔丁醇锆和乙醇钽(V)是高k介质优质前体。六甲基二硅烷和Tetrakis（二甲基氨基）鉿适用于介电层沉积，环戊二烯基钴和双(五甲基环戊二烯基)铁适合磁性薄膜制备。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Antimony(III) chloride, 99% 氯化锑(III) | 10025-91-9 | 496657 危化品 |
| Hexamethyldisilane, 98%, reagent grade 六甲基二硅烷 | 1450-14-2 | 985468 危化品 |
| Zirconium(IV) t-butoxide (99.99%-Zr) PURATREM 叔丁醇锆 | 2081-12-1 | 40-1750促 |
| Bis(cyclopentadienyl)cobalt(II), min. 98% (Cobaltocene) 环戊二烯基钴 | 1277-43-6 | 27-0475 |
| Copper(II) hexafluoroacetylacetonate hydrate, elec. gr. (99.99+%-Cu) PURATREM 六氟乙酰丙酮铜 | 155640-85-0 | 29-2929 |
| Triruthenium dodecacarbonyl, 98% 十二羰基三钌 | 15243-33-1 | 526096 |
| Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate, min. 95% 1,1,1,5,5,5-六氟乙酰丙酮钯(II) | 64916-48-9 | 46-1870促 |
| Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)europium(III), 99% (99.9%-Eu) (REO) [Eu(TMHD)₃] 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚烷二酮铕 | 15522-71-1 | 93-6328 |
| Bis(pentamethylcyclopentadienyl)iron, 97% 双(五甲基环戊二烯基)铁 | 12126-50-0 | 255587 |
| Bismuth(III) chloride, 99.9% 氯化铋(III) | 7787-60-2 | 925081 |
| Tetrakis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)niobium(IV), 99% [Nb(TMHD)₄] 四（2，2，6，6-四甲基-3，5-庚二酮酸）铌 | 41706-15-4 | 41-7000 |
| Tris(butylcyclopentadienyl)yttrium (99.9%-Y) (REO) 三(丁基环戊二烯)钇(III) | 312739-77-8 | 39-4950 |
| Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)chromium(III), 99% [Cr(TMHD)₃] 三（2,2,6,6-四甲基-3,5-戊烯二酮）铬（III） | 14434-47-0 | 24-1500 |
| Tantalum(V) ethoxide, 99.99% 乙醇钽(V) | 6074-84-6 | 142830 |
| Tetrakis(dimethylamino)hafnium, 98+% (99.99+%-Hf, <0.2% Zr) TDMAH, PURATREM Tetrakis（二甲基氨基）鉿 | 19782-68-4 | 72-8000促 |
耗材
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Horn spoon, 3×1（100±10mm, 115±10mm, 125±10mm） 牛角药勺 | / | 923358 |
| Liquid sample pool, 7.1ml, 40×20×16.7, ES quartz glass, 190-2500nm 液体样品池, 7.1ml | / | 9108683 |
| Special pH Indicator Paper, pH 6.4-8.0, pkg of 100 ea 精密试纸 | / | 918892 |
百灵威智慧实验室
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| FindMolecule ELN, Academic Basic ELN电子记录本 | / | 9269008 |
| FindMolecule IMS, Academic Basic 实验室库存管理系统服务 | / | 9269003 |
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